[M 투데이 이상원기자] 삼성의 국내 반도체 생산 확대로 글로벌 반도체 장비업체들이 한국으로 몰려들고 있다.

업계에 따르면 미국 최대 반도체 장비업체인 어플라이드 머티리얼스(AMAT)가 연구개발(R&D) 거점을 만들고 네덜란드 노광장비업체인 ASML도 지원 거점을 건설한다.

삼성전자가 향후 20년간 300조원을 투자, 경기도 용인시 등에 세계 최대 시스템 반도체 클러스터 설립키로 함에 따라 글로벌 반도체 장비업체들이 한국으로 몰려들고 있는 것이다.

네덜란드 반도체 장비기업인 ASM은 지난 23일 기자간담회를 갖고 제2제조연구혁신센터 확장 및 지속적인 한국내 투자 확대계획을 발표했다.

약 1억 달러(1,320억 원)가 투자되는 신규 생산라인은 오는 2025년 가동을 목표로 하고 있다.

ASM은 이번 투자에 앞서 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체업체들과 공급 계약을 체결한 것으로 알려졌다.

벤자민 로 ASM CEO는 “이번에 설립되는 2센터는 D램, 낸드플래시, 시스템 반도체 등 제조과정에 필수적인 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비를 생산하게 될 것”이라고 밝혔다.

반도체 첨단 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비 공급업체인 ASML도 2,400억 원을 투자, 화성시에 조립 및 교육 센터를 건설 중이다.

ASML은 대당 수천억 원에 달하는 고가 반도체 장비의 운영지원과 AS를 수행할 예정이다.

세계 최대 반도체 장비 업체인 AMAT는 용인시에 연구개발센터 설립을 검토 중인 것으로 알려졌다.

AMAT는 올해 안에 센터 부지를 선정하고 본격적인 건설에 나설 예정이다.

AMAT는 반도체 회로 형성 공정 장비부문에 점유율 1위업체로, 현재 삼성전자와 공동 개발 등 협력관계를 맺고 있다.

일본 업체인 도쿄일렉트론도 삼성 반도체 부문 연구개발 거점 인근에 클린룸을 증설하는 등 설비 확장에 나섰다.

일본 반도체 장비기업 알박(ULVAC)도 2024년을 목표로 국내에 기술개발 거점을 설립할 예정인 것으로 알려졌다.

반도체 장비 공급업체들은 최근 미국 바이든 행정부가 미국, 일본, 한국, 네덜란드 등 세계 반도체 장비 시장을 주도하고 있는 국가들을 상대로 중국으로의 장비 수출을 금지하면서 새로운 시장 개척에 열을 올리고 있다.